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12寸晶圆450*450*350class100封装专用可联网无尘烘箱

12寸晶圆450*450*350class100封装专用可联网无尘烘箱
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12寸晶圆450*450*350class100封装专用可联网无尘烘箱图片
  • 单价:面议
  • 所在地:上海
  • 最小采购量:1 台
  • 总供货量:300 台
  • 有效期:长期有效
  • 发布日期:2020-06-30 14:05
  • 公司名称:上海旦顺实业有限公司

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产品参数

品牌:

上海旦顺

所在地:

上海

起订:

≥1 台

供货总量:

300 台

有效期至:

长期有效

发布日期::

2020-06-30 14:05

详细介绍

12寸晶圆450*450*350class100封装专用可联网无尘烘箱

普遍应用于航空、航天、石油化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要做BPO/PI/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOSBumpingTSVMENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

 

主要特点:箱体选用全陶瓷纤维保温,具有升温快、节能等特点,优良的送风、排风系统,确保炉箱温度均匀,吸风口玻纤过滤器,确保洁净度的要求。

 

一、技术指标与基本配置:

1、使用温度:RT400℃,最高温度:450℃;

2、腔体数量:2,上下布置;独立控温

3、炉膛材料:SUS304镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶

4、空炉升温时间:1.5h

5、空炉降温时间:375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时 (采用水冷及风冷)

6、智能控制系统:日本欧姆龙PCL+PC工控电脑

 

二、氧含量(配氧分析仪):

1、高温状态氧含量:≤ 10ppm +气源氧含量;

2、低温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量

3、控温稳定度:±1℃

4、温度均匀度:±10℃400℃平台);

 

三、事件输出:

1、配置PLC,可实现多事件输出控制气氛、水等开关和报警;

2、温度和氧含量记录:烘箱工艺温度,6点温度监控数据及无氧数据,烘箱控制系统中显示,

保存,记录,并生成报表。可查可视。

3、超温、断偶等声光报警保护,产品烘烤批次,数据,报警,事件等等追踪可查询。

4、PC 内部记录数据,使用 Excel 等常用软件可以读取,最短数据记录间隔5S

5基于TCP/ip协议,与工厂系统对接,实现自动化烘烤,过程管理

 

四、工艺线标准

1在常温下以3-5℃/min升温速率升温40分钟到200℃

2200℃状态下恒温45分钟

340min升到375℃

4375℃恒温1H

5最后以每分钟3-5℃的降温速率,79min左右从375℃降到75℃

 

 

 

  

 

 

 

 


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