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半导体应用石墨 碳化硅石墨件 SGL石墨 碳毡 硬毡 软毡

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  • 单价:面议
  • 所在地:上海
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  • 有效期:长期有效
  • 发布日期:2021-07-21 14:14
  • 公司名称:上海弘竣新能源材料有限公司

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这家SiC衬底企业获数亿元D轮融资,第三代半导体材料市场爆发在即!

在半导体行业中,高纯石墨主要是作为加热系统、保温罩、电极等存在,采用高纯石墨做这些部件也是充分利用了高纯石墨耐高温这一特点。高纯石墨的耐腐蚀、抗氧化、导电导热的优点应用到了半导体工业中,使工件使用寿命更长、更加减磨省电。我司主要采用德国半导体等级石墨材料,精密制作离子注入用石墨耗材,提供标准件及客制化规格。

高纯度石墨根据均匀细颗粒的特性可作为低原子序数材料,对离子、等离子具有较强的抗轰击能力,很强的抗腐蚀性,纯度高没有金属离子不会对半导体产生污染,金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗,故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。用于等离子cvd用部件 等离子vcd用感受器、电极室、喷嘴、内衬、溅射用电极、movcd感受器等。

地址:上海市青浦区沪青平公路2008号1520

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邮箱/E-mail:nuo.

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